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千级无尘室设计与施工

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    超净间(Clean Room),亦称为无尘室或洁净室。

聚能净化「超净间」是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。

亦即是不论外在空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。 超净间最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「超净间」。

主要用途是电子、制药、食品、生物工程、光学、航天、航空、彩管、半导体、精密机械、塑胶、喷漆、医院、环保



如表所示,每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别

 
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